八个真空烧结炉常见故障大汇总,赶快收藏吧

　　真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，高温电炉炉小七分享下八个真空烧结炉的常见故障，快来了解下吧！

　　一、冷却水异常

　　1、确认加热电源已停止。

　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认真空烧结炉设备冷却下来。

　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

　　4、在高温(超过℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，设备的换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

　　二、运行中遇到停电

　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将真空烧结炉保持原状。

　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持设备原状，让设备自然冷却下来。

　　三、消除温度过高引起报警

　　1、首先，检查工作区温度控制器的参数是否正常，并参考正在使用的其他正常温度控制器检查所有参数。

　　2、根据电路图，检查相应工作区域内固态继电器的输出是否损坏。此方法：断电后，用万用表的电阻档测量固态继电器两个输出点之间的电阻。通常，电阻将达到几兆欧姆或更高。如果它发生故障且阻力很小，则须更换相同类型的新部件。

　　3、通电后，用手摇动相应工作区域的热电偶探头，查看相应的恒温器是否有较大的跳动。如果出现这种现象，则表明热电偶探头接触不良，需要更换。

　　四、真空异常：不能抽真空或抽真空过低

　　1、首先，确认工厂真空源是否正常(-95kpa或以上)，压缩空气压力是否正常(正常使用范围为0.4-0.6Mpa)。

　　2、检查真空表是否完好。比较正常使用的真空表，看参数是否正常。

　　3、检查门是否关闭，门的密封膜是否损坏、变形，门板上是否有异物?请仔细检查!

　　4、如果门没有问题，应检查相应工作区域的管道、气动阀和热电偶。通常在热电偶入口处有较多的情况，因为如果更换了热电偶，往往会破坏真空密封性能，必需用AB胶重新密封。

　　五、机械构造断层

　　1、门没有关严。检查门铰链是否松动，拉扣是否变形，门的密封带是否损坏，门板是否变形。

　　2、风机有异响，请仔细检查有无异物进入风机风轮，或固定电机的螺丝是否松动。

　　3、气动阀不能工作，首先检查相应的电磁阀是否能正常工作，压缩空气压力是否满足工作要求?如果气压正常，电磁阀良好，必需是气动阀本身损坏，必需更换。

　　六、加热电源掉电

　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。

　　2、接地故障。

　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处需要连接牢固，与反射屏绝缘要好。

　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

　　七、充气气体(氩气或氮气)停止

　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。

　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

　　八、真空室压力恶化

　　1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。

　　2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。

　　在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得定量的密度和具有机械性能的材料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。

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